Product Center
產品中心水洗
Areas of application 適用領域
? 用水處理半導體及面板制成氣體
? 水溶性氣體(HCl, HF, NH3 等)
characteristic 特點
?使用場景:半導體廠中ETCH端、廠務端特氣房,EPI、MOCVD處理易溶于水氣體為主
?處理能力:常態為600-1000slm可加藥處理
?缽米產品特點:通過結構設計,處理一些水溶性較強的氣體,或以水為介質,混合堿性溶劑處理酸性氣體,使用成本較低
Benefits 優勢
? pH控制和延遲時間可調
? 電控功能(電,NaOH)氣體流量低時粉末可調節
? 易于維護 (反應器和濕室清潔:冷卻后30分鐘內)
? 自動旁路備用系統可最大程度地減少主要工具的停機時間
? 快速的冷卻效果
? 所有的零件可以承受高壓力(閥件、管路等)