Product Center
產品中心電加熱水洗
Areas of application 適用領域
? 用水處理半導體及面板制成氣體
? 易燃氣體如(SIH4,B2H6等)
characteristic 特點
? 使用場景:半導體廠中CVD端、廠務端特氣房,處理含PFC氣體為主
? 處理能力:常態為500-1500slm
? 適用溫度:350-850度
? 缽米優勢:核心電加熱棒和陶瓷蓄熱材料為國產、自制,全部自主研發
Benefits 優勢
? 該設備對于一些有毒氣體,特別是針對易燃氣體如SIH4,HCL 等,其處理效果極好
? 該設備裝有多重安全設施,可用于半導體行業各種工藝后尾氣處理
? 該設備出氣口前裝有氣水分離器,可以最大限度地減少水汽進入排風管
? 水循環系統被設置在機柜內部,從而使設備占地最小化
? 該設備具有自清潔功能,可以防止反應產物積聚在管道內壁
? 加熱器供電系統的每一個相位都有傳感器,可以很方便地判斷加熱器故障情況
? 使用加熱控制控制加熱器電路,以最大限度延長加熱器壽命